|
moc wejściowa
|
-
jednofazowy 220 VAC, 50/60 Hz
-
1000 w (w tym pompa próżniowa i agregat wody lodowej)
-
jeśli napięcie wynosi 110 V, można zamówić transformator o mocy 1500 W przy tmax.
|
|
źródło prądu
|
-
W zestawie znajduje się generator 13,5 MHz, 100 W RF z ręcznym dopasowaniem i podłączony do głowic rozpylających
-
ciągły czas pracy:
-
100 w: ≤ 1 godzina
-
80 w: ≤ 1,5 godziny
-
70 w: ≤ 2 godziny
-
60 w: ≤ 4 godziny
-
50 w: ≤ 8 godzin
-
zakres obciążenia: 0 - 80 regulowany. zakres strojenia: -200j - 200j regulowany
-
obrotowy przełącznik może aktywować jedną głowicę rozpylającą naraz. głowice rozpylające można przełączać „w plazmie” (bez przerwania próżni i plazmy podczas procesu wielowarstwowego)
-
dzięki zasilaczowi prądu stałego powlekarka może być łatwo przekształcona w źródła rozpylania 1 ”DC do osadzania metalicznej warstewki, umożliwiając konfiguracje głowic rozpylających trzy DC, jeden RF / dwa DC i dwa RF / jeden DC (lewy dolny obraz. proszę wybrać z opcji produktu)
-
opcjonalny generator RF o mocy 300 W jest dostępny za dodatkową opłatą
|
|
głowica rozpylająca magnetron
|
-
dołączone są trzy 1-calowe głowice rozpylające magnetron z płaszczami chłodzącymi wodę i włożone do komory kwarcowej za pomocą szybkich zacisków
-
Zamiennik kabla RF można kupić w Tmax
-
jedna ręcznie sterowana żaluzja jest zbudowana na kołnierzu (patrz zdjęcie nr 3)
-
jeden chłodzony cyfrowo obiegowy agregat wody lodowej o wydajności 10 l / min jest dołączony do chłodzenia głowic napylających
-
|
|
cel rozpylania
|
-
Wymagany rozmiar docelowy: 1 "średnica x 1/8" grubość max
-
zakres odległości rozpylania: regulowany w zakresie 50–80 mm
-
zakres kąta rozpylania: regulowany w zakresie 0 - 25 °
-
Cel cu o średnicy 1 "i al 2) o 3) cel są uwzględnione w testach demo
-
różne tarcze rozpylające 1 ”tlenkowe są dostępne na życzenie i za dodatkową opłatą
-
do klejenia celu dołączone są podkładki miedziane 1 mm i 2 mm. srebrna żywica epoksydowa (rys. 1) i dodatkowe miedziane płyty podkładowe (rys. 2) można zamówić w tmax
|
|
komora próżniowa
|
-
komora próżniowa: 256 mm x 238 mm id x 276 mm wysokości, wykonana z kwarcu wysokiej czystości
-
kołnierz uszczelniający: 274 mm średnicy wykonany z aluminium z silikonowym o-ringiem o wysokiej temperaturze
-
klatka osłonowa ze stali nierdzewnej jest dołączona do 100% ekranowania promieniowania RF z komory
-
maksymalny poziom próżni: 1,0e-5 torr z opcjonalną turbo pompą i piecem komorowym
|
|
uchwyt próbki
|
-
uchwyt na próbkę to obrotowy i ogrzewany stolik wykonany z ceramicznego podgrzewacza z pokrywą ze stali nierdzewnej
-
Rozmiar uchwytu próbki: średnica 50 mm. dla. 2 "maksymalny opłatek (patrz zdjęcie poniżej)
-
prędkość obrotowa: 1 - 10 rpm regulowana w celu uzyskania jednolitej powłoki
-
temperatura uchwytu jest regulowana od rt do 600 ° C maks. (5 min maks. w 600 ° C; maks. 2 godz. w 500 ° C) z dokładnością +/- 1,0 ° C za pomocą cyfrowego regulatora temperatury
|
|
pompa próżniowa
|
-
Port próżniowy kf40 jest wbudowany do podłączenia do pompy próżniowej.
-
poziom próżni: 1,0e-2 torr z dołączoną dwustopniową pompą mechaniczną
-
1,0e-5 torr z opcjonalną turbo pompą
|
|
opcjonalny
|
-
precyzyjny kwarcowy czujnik grubości jest opcjonalny. może być wbudowany w komorę w celu monitorowania grubości powłoki z dokładnością 0,1 Å (wymagane chłodzenie wodne)
-
łatwe połączenie USB z komputerem w celu zdalnego monitorowania grubości i prędkości powlekania
-
W zestawie znajduje się 5 szt. Czujników kwarcowych (materiały eksploatacyjne)
-
zdalne sterowanie PC regulatorem temperatury jest opcjonalne
-
łatwe połączenie USB z komputerem w celu zdalnej kontroli temperatury
-
dołączone jest oprogramowanie do kontroli temperatury. moduł jest zgodny z labview
-
do rozpylania magnetronowego prądu stałego zalecana jest pompa turbo (rys. 3)
-
reaktywne rozpylanie za pomocą n 2) lub o 2) jest dostępny z opcjonalną stacją kontroli mieszania gazu.
-
|
|
rozmiar
|
-
540 mm dł. X 540 mm szer. X 1000 mm wys
|
|
waga netto
|
|
|
spełnienie
|
-
zatwierdzenie ce
-
potwierdzony certyfikat (ul 1450) jest dostępny na życzenie i za dodatkową opłatą, prosimy o kontakt z naszym przedstawicielem handlowym w celu uzyskania oferty.
|
|
Gwarancja
|
-
roczna ograniczona gwarancja z dożywotnim wsparciem
|
|
noty aplikacyjne
|
-
ta kompaktowa powlekarka do rozpylania magnetronowego 1 "rf jest przeznaczona do powlekania cienkich warstw tlenku na monokrystalicznych podłożach tlenkowych, które zwykle nie wymagają ustawiania wysokiej próżni
-
dwufazowy regulator ciśnienia (nie wchodzi w skład zestawu) powinien być zainstalowany na butli z gazem, aby ograniczyć ciśnienie wyjściowe gazu poniżej 0,02 mpa dla bezpiecznego użytkowania. użyj & gt; Czystość 5n lub gaz do rozpylania plazmowego
-
w celu uzyskania najlepszej przyczepności filmu do podłoża, proszę oczyścić powierzchnię podłoża przed powlekaniem:
-
czyszczenie ultradźwiękowe za pomocą następujących kolejno po sobie kąpieli - (1) aceton, (2) alkohol izopropylowy - w celu usunięcia oleju i smaru. wysuszyć podłoże za pomocą n2, a następnie piec na gorąco w próżni, aby usunąć pochłoniętą wilgoć
-
czyszczenie plazmowe może być konieczne do szorstkowania powierzchni, aktywacji wiązań chemicznych powierzchni lub dodatkowego usuwania zanieczyszczeń
-
cienką warstwę buforową (~ 5 nm), taką jak cr, ti, mo, ta, można zastosować w celu poprawy przyczepności metali i stopów
-
w celu uzyskania najlepszej wydajności nieprzewodzące tarcze muszą być instalowane z miedzianą płytą podkładową. zapoznaj się z filmem instruktażowym poniżej (# 3), aby uzyskać informacje o wiązaniu celu
-
tmax dostarcza monokrystaliczne podłoże od a do z
-
Powłoki plazmowe do napylania plazmowego tmax rf z powodzeniem powlekały zno na al 2) o 3) podłoże w 500 ° C (xrd profil na zdjęciu nr 5)
-
przetestować elastyczność cienkiej elektrody / powlekanej elektrody za pomocą eq-mbt-12-ld tester gięcia trzpieni .
-
wysokie napięcie! głowice rozpylające są podłączone do wysokiego napięcia. ze względów bezpieczeństwa operator musi wyłączyć generator częstotliwości radiowej przed załadowaniem próbki i zmianą celu
-
nie używaj wody z kranu w agregacie chłodniczym. do wody używaj płynu chłodzącego, di wody, wody destylowanej lub dodatków antykorozyjnych
-
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
