Produkty
Strona główna Produkty Lab Coater Sputtering Coater

kompaktowy system termicznego odparowywania z łącznie 4 tyglami ze źródłem parowania

Skontaktuj się z nami

  • Contact Person : Louis Yang
  • Adres e-mail : Louis@lithmachine.com
  • Adres : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
kompaktowy system termicznego odparowywania z łącznie 4 tyglami ze źródłem parowania

kompaktowy system termicznego odparowywania z łącznie 4 tyglami ze źródłem parowania

  • :

    GSL-1700X-EV4
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Adres e-mail :

    Louis@lithmachine.com

kompaktowy system termicznego odparowywania z łącznie 4 tyglami ze źródłem parowania



gsl-1700x-ev4 to kompaktowy system parowania termicznego z 4 tyglami ze źródłem parowania oraz precyzyjną i programowalną kontrolą temperatury. cztery odparowujące tygle mogą być użyte do osadzenia wielu różnych materiałów w celu wyhodowania wielowarstwowych filmów jeden po drugim w tej samej atmosferze komory. system nadaje się do pokrywania większości folii metalowych i organicznych o wielkości do 2 ”od 200 ºc ​​do 1500 ºc ​​(lub 200 ºc ​​- 1700 ºc ​​za pomocą opcjonalnej termopary typu b).

dane techniczne:

struktura i wzmacniacz funkcje
Thermal Evaporating System

  • 280 mm średnica wewnętrzna x 260 mm i.d. komora kwarcowa o wysokości 310 mm dla łatwego czyszczenia i ładowania próbek
  • Obrotowe źródła odparowywania 2 "dla jednolitej powłoki filmowej
  • wolframowy podgrzewacz cewki i tygiel z tlenku glinu do powlekania w wysokiej temperaturze do 1700 ºc
  • precyzyjna kontrola temperatury z 30 programowalnymi segmentami i dokładnością +/- 1 ºc
  • wysoką próżnię można osiągnąć do 1,0e-5 torr za pomocą opcjonalnej turbopompy
  • króciec przepływu gazu i zawór są wbudowane w celu czyszczenia komory i możliwości DVD

moc wejściowa
Thermal Evaporating System

  • napięcie wejściowe: ac 208 - 240 v 50/60 hz, jednofazowe (110 V ac jest dostępne przez transformator 1500 w)
  • moc wejściowa: 1200 W.
  • moc wyjściowa: 12 V i prąd maksymalny 30. zalecany prąd pracy <30 a
  • kabel zasilający w komplecie bez wtyczki

kontrola temperatury i wzmacniacz grzejniki
Thermal Evaporating System

cztery tygle wyparowujące tlenek glinu o pojemności 3 ml każda. nie można jednocześnie korzystać z czterech źródeł. depozyt wielowarstwowy byłby dokonywany jeden po drugim.
  • wolframowy podgrzewacz cewki z termoparą jest wbudowany w dolnej części tygla z tlenku glinu (do kontroli temperatury (rys. 1). wymiary można znaleźć na lewym obrazku
  • standardowy termopara typu s (w zestawie i zainstalowany) - ogrzewanie od 200 ºc ​​- 1500 ºc ​​(rys. 2)
  • opcjonalny termopara typu b (za dodatkową opłatą) - ogrzewanie od 1200 ºc ​​- 1700 ºc
  • jeden cyfrowy regulator temperatury z 30 programowalnymi segmentami i dokładnością +/- 1 ºc (rys. 3)
  • ustawienia czasu regulatora temperatury podano w sekundach. zaleca się ograniczenie temperatury ogrzewania / chłodzenia do 0,3 ºc / s (lub 20 ºc / min) poniżej 1200 ºc ​​i ograniczenie do 0,15 ºc / s (lub 10 ºc / min) z 1200 - 1700 ºc
  • w przypadku ciągłego ogrzewania powyżej 1300 ºc ​​należy ograniczyć czas pracy do mniej niż 1 godziny, aby zachować żywotność pierścienia samouszczelniającego dolnego kołnierza
  • w celu szybkiego powlekania do 2000 ° C, takiego jak potrzebne w powłoce węglowej, użytkownik może usunąć termoparę, blok termiczny z tlenku glinu i tygiel z tlenku glinu, załadować materiał odparowujący bezpośrednio do grzejnika z cewką wolframową i użyć bieżącego trybu sterowania ręcznego (rys. 4 )
  • w zestawie cztery tygle z tlenku glinu (do 1700 ºc) i dwa grzejniki wolframowe. zapoznaj się z opcjonalną sekcją dotyczącą zamawiania części zamiennych
  • Thermal Evaporating System

obrotowy uchwyt na próbki
Thermal Evaporating System

  • jedna średnica 50 mm obrotowy stół próbny i jego żaluzja są zainstalowane na górnym kołnierzu.
  • prędkość obrotowa: 5 obr./min
  • odległość od uchwytu próbki do źródła parowania jest regulowana w zakresie od 40 mm do 85 mm

system analizy grubości filmu (opcjonalnie)

precyzyjna cienka folia i wzmacniacze; systemy analizy powłok - eq-tfms-ld jest dostępny za dodatkową opłatą.



odkurzać

  • Port próżniowy kf25 jest zainstalowany w celu podłączenia do pompy próżniowej
  • najwyższa próżnia może osiągnąć <1e-5 torr poprzez pompowanie przez noc za pomocą opcjonalnej pompy turbomolekularnej
  • do powlekania wymagana jest pompa próżniowa. wybierz jedną z następujących opcji produktu
    • dwustopniowa obrotowa łopatkowa pompa próżniowa z pułapką pary, aby wyeliminować mgiełkę olejową, która może osiągnąć próżnię do 1,0e-2 torr w celu odparowania szlachetnych materiałów metalicznych, takich jak złoto, srebro i materiały organiczne.
  • Thermal Evaporating System

wlot gazu

  • Złączka 1/4 rurki jest wbudowana do czyszczenia komory lub przetwarzania gazu formującego
  • wbudowany jest jeden zawór iglicowy do kontroli prędkości przepływu gazu

opcjonalny

  • dodatkowy tygiel z tlenku glinu i wolframową cewkę można zamówić w tmax za dodatkową opłatą

ogólny wymiar

Thermal Evaporating System

wymiar komory kwarcowej


o.d.:280 mm (11 ")
i.d .: 260 mm (10,2 ")
długość: 310 mm (12,2 ")

spełnienie

  • certyfikat ce

Gwarancja

  • roczna ograniczona gwarancja z dożywotnim wsparciem

waga netto

  • 80 kg

waga przesyłki i amp; wymiary

  • 200 funtów, 40 x 30 x 32 cale

noty aplikacyjne


  • aby osiągnąć wysoką próżnię wymaganą do odparowania niektórych materiałów, użytkownik może
    • sprawdź komorę, o-ring i kołnierz pod kątem jakichkolwiek cząstek, włókien lub zadrapań. do czyszczenia powierzchni używaj niestrzępiącej się chusteczki zwilżonej alkoholem izopropylowym (ipa)
    • za pomocą taśmy grzejnej upiec komorę w temperaturze 150 ° C i podgrzać podgrzewacz cewki i tygiel w temperaturze 500 ° C podczas pompowania za pomocą opcjonalnej turbopompy przez co najmniej 2 godziny
    • pompować komorę przez noc bez podgrzewania, jeśli potrzebne jest podciśnienie wyższe niż 1,0e-5 tor
  • nie należy uruchamiać programu grzewczego ani ręcznie zwiększać prądu bez zamkniętej komory i próżni!
  • nie zwalniać próżni ani nie przerywać pompowania, gdy urządzenie do powlekania znajduje się w trybie parowania! podczas schładzania grzejnika przestań pompować lub zwolnij próżnię tylko wtedy, gdy temperatura spadnie poniżej 100 ºc!




Thermal Evaporating System









pakiet:

1 standardowe eksportowane opakowanie: wewnętrzna ochrona antykolizyjna, zewnętrzne eksportowe drewniane pudełko.

2 wysyłka ekspresową, lotniczą, morską zgodnie z wymaganiami klientów, aby znaleźć najbardziej odpowiedni sposób.

3 odpowiedzialny za uszkodzenie podczas procesu wysyłki, bezpłatnie wymieni uszkodzoną część.

czas dostawy : 15-20 dni po potwierdzeniu zamówienia szczegółową datę dostawy należy ustalić zgodnie z

sezon produkcyjny i ilość zamówienia.