|
struktura i funkcje
|
-
Komora kwarcowa o wymiarach 6 cali x 10 cali ułatwia czyszczenie i ładowanie próbek
-
Obrotowy uchwyt na próbki o średnicy 2 cali zapewnia jednolite powlekanie
-
grzałka z cewką wolframową i tygiel z tlenku glinu do powlekania w wysokiej temperaturze do 1700 ° C
-
precyzyjna kontrola temperatury z 30 programowalnymi segmentami i dokładnością +/- 1ºc
-
wysoką próżnię można osiągnąć do 1,0e-5 torr za pomocą opcjonalnej turbopompy
-
port przepływu gazu i zawór są wbudowane do oczyszczania komory i możliwości cvd
|
|
moc wejściowa
|
-
napięcie wejściowe: 208 - 240 V 50/60 Hz, jednofazowe
-
moc wejściowa: 500 w
-
moc wyjściowa: 40 a maksymalny prąd. zalecany prąd roboczy <20 a
-
kabel zasilający w zestawie bez wtyczki
|
|
kontrola temperatury i grzejniki
|
Grzałka z cewką wolframową z termoparą jest wbudowana w dno tygla z tlenku glinu (w celu kontroli temperatury (rys. 1).
-
termopara typu standard (w zestawie i zainstalowana) - ogrzewanie od 200 ºc - 1500 ºc (rys. 2)
-
opcjonalna termopara typu B (za dodatkową opłatą) - ogrzewanie od 1200 ° C - 1700 ° C
-
jeden cyfrowy regulator temperatury z 30 programowalnymi segmentami i dokładnością +/- 1ºc (rys. 3)
-
ustawienia czasu regulatora temperatury podano w sekundach. zaleca się ograniczenie temperatury ogrzewania / chłodzenia do 0,3 ºc / s (lub 20 ºc / min) poniżej 1200 ºc i ograniczenie do 0,15 ºc / s (lub 10 ºc / min) z 1200 ÷ 1700 ºc
-
do ogrzewania ciągłego powyżej 1300 ºc, proszę ograniczyć czas pracy do mniej niż 1 godziny, aby zachować żywotność dolnego pierścienia uszczelniającego o-ring
-
do szybkiego powlekania do 2000 ° C, takiego jak wymagane w powłoce węglowej, użytkownik może usunąć termoparę, blok termiczny z tlenku glinu i tygiel z tlenku glinu, załadować materiał parujący bezpośrednio do grzejnika z cewką wolframową i zastosować tryb sterowania ręcznego (rys. 4 )
-
dołączono cztery tygle z tlenku glinu (do 1700 ° C) i dwa grzejniki z cewką wolframową. proszę odnieść się do opcjonalnej sekcji dotyczącej zamawiania części zamiennych
|
|
uchwyt próbki
|
-
jeden o średnicy 50 mm obrotowy stolik próbny i jego żaluzja są zainstalowane na górnym kołnierzu.
-
prędkość obrotowa: 5 obr / min
-
odległość od uchwytu próbki do źródła parowania można regulować w zakresie od 40 mm do 85 mm
|
|
monitor grubości filmu (opcjonalnie)
|
precyzyjny kwarcowy czujnik grubości jest opcjonalny. może być wbudowany w komorę, aby zapewnić natychmiastową kontrolę grubości folii z dokładnością 0,10 Å. wyświetlacz led na zewnątrz komory może:
·
-
informacje o materiale wejściowym powłoki na podstawie dołączonej bazy danych
-
wyświetl całkowitą grubość powłoki i prędkość powlekania
-
precyzja cienka folia i systemy analizy powłok - eq-tfms-ld jest dostępny za dodatkową opłatą
|
|
odkurzać
|
-
Port próżniowy kf25 jest instalowany w celu podłączenia do pompy próżniowej
-
najwyższa próżnia może osiągnąć <4.0e-6 torr przez pompowanie przez noc z opcjonalną pompą turbomolekularną
-
do powlekania wymagana jest pompa próżniowa. proszę wybrać jedną z następujących opcji produktu
-
bez pompy próżniowej. miernik pojemnościowy z membraną antykorozyjną jest dołączony do próżni do 1.0e-6 torr
-
dwustopniowa łopatkowa pompa próżniowa z pułapką parową do eliminacji mgły olejowej, która może osiągnąć próżnię do 1,0e-2 torr w celu odparowania szlachetnych materiałów metalicznych, takich jak złoto, srebro i materiały organiczne.
-
|
|
wlot gazu
|
-
Łącznik rurowy 1/4 jest wbudowany do oczyszczania komory lub obróbki gazu formującego
-
jeden zawór iglicowy jest wbudowany, aby kontrolować przepływ gazu
|
|
opcjonalny
|
-
dodatkowy tygiel z tlenku glinu i grzałka z cewką wolframową można zamówić w tmax za dodatkową opłatą
-
w sumie 4 tygle ze źródłami wyparnymi mogą być wykorzystane do osadzania wielu różnych materiałów w celu hodowania wielowarstw po kolei w tej samej atmosferze komory.
|
|
ogólny wymiar
|
|
|
wymiar komory kwarcowej
|
o.d.:165mm
i.d .: 150 mm
długość: 250mm
|
|
spełnienie
|
|
|
Gwarancja
|
-
roczna ograniczona gwarancja z wsparcie na całe życie
|
|
waga netto
|
|
|
waga przesyłki i amp; wymiary
|
-
130 lbs, 40 "x 30" x 32 "
|
|
noty aplikacyjne
|
-
aby osiągnąć wysoką próżnię potrzebną do odparowania niektórych materiałów, użytkownik może
-
sprawdzić komorę, o-ring i kołnierz pod kątem cząstek, włókien lub zarysowań. użyj niestrzępiącej się tkanki zwilżonej alkoholem izopropylowym (ipa), aby wytrzeć powierzchnię
-
użyj taśmy grzejnej, aby upiec komorę przy 150 ° C i podgrzej podgrzewacz cewki i tygiel przy 500 ° C podczas pompowania za pomocą opcjonalnej pompy turbo przez co najmniej 2 godziny
-
pompować komorę przez noc bez ogrzewania, jeśli potrzebna jest próżnia wyższa niż 1,0e-5 torr
-
powlekarka może być umieszczona w schowku na gaz ar lub n2 w celu termicznego odparowania pokory i amp; materiały wrażliwe na tlen, takie jak metal li.
-
nie uruchamiaj programu ogrzewania ani nie zwiększaj ręcznie prądu bez zamkniętej komory i próżni!
-
nie zwalniaj próżni ani nie przerywaj pompowania, gdy powlekarka pracuje w trybie parowania! podczas schładzania grzejnika, przestań pompować lub zwolnij próżnię tylko wtedy, gdy temperatura spadnie poniżej 100 ° C!
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
