|
zwarta struktura
|
|
|
moc wejściowa
|
-
jednofazowy 220 VAC 50/60 Hz
-
2000 w (w tym pompa próżniowa i agregat wody lodowej)
|
|
moc źródłowa
|
-
trzy źródła rozpylania są zintegrowane w jednej skrzynce sterowania (kliknij zdjęcie poniżej, aby zobaczyć szczegółowe specyfikacje)
-
źródło prądu stałego: moc 500 w do powlekania materiałów metalowych (rys. 1)
-
źródło rf: moc 300 w, częstotliwość 13,56 mhz do powlekania materiałów nieprzewodzących (rys. 2)
|
|
głowica rozpylająca magnetronu
|
-
trzy 2-calowe głowice rozpylające magnetron w zestawie kurtki i żaluzje z chłodzeniem wodnym
-
dostępny jest również jeden model głowicy rozpylającej.
-
wymóg wielkości docelowej: średnica 2 ”
-
zakres grubości: 0,1 - 5 mm zarówno dla celów metalowych, jak i nieprzewodzących (w tym płyty podkładowej)
-
jeden tarcza ze stali nierdzewnej i jeden stopień naukowy cel al2o3 są dołączone do testów demo
-
Opcjonalne 2 "tarcze rozpylające (lub płyta oporowa) są dostępne na żądanie za dodatkową opłatą.
-
zalecana receptura rozpylania i przydatne wskazówki
-
niestandardowa powlekarka: dwa DC - jeden rf; dwa rf - jeden DC; trzy dc; trzy rf (proszę wybrać z opcji produktu)
-
opcjonalnie: kabel rf o długości 148 cm można zamówić za dodatkową opłatą
|
|
komora próżniowa
|
-
komora próżniowa: średnica 300 mm. Wysokość x 300 mm, wykonana ze stali nierdzewnej
-
rzutnia: dwa kawałki o średnicy 100 mm. szkło. jeden naprawiony; jeden zdejmowany do czyszczenia i wymiany
-
pokrywa na zawiasach z pneumatycznym słupkiem mocy umożliwia łatwą zmianę celu
|
|
etap próbny
|
-
uchwyt na próbki to obrotowy i podgrzewany stolik wykonany z ceramicznego grzejnika z miedzianą osłoną
-
rozmiar uchwytu próbki: średnica 140 mm. dla. 4 "opłatek max
-
prędkość obrotowa: 1 - 20 obr / min regulowana dla jednolitej powłoki
-
temperatura uchwytu jest regulowana od rt do 500 ° c max (maks. 2 h) z dokładnością +/- 1,0 ° c za pośrednictwem cyfrowego regulatora temperatury
|
|
kontrola przepływu gazu
|
-
zainstalowane są dwa precyzyjne sterowniki przepływu masy (mfc), aby umożliwić wlot dwóch rodzajów gazów
-
natężenie przepływu: 0 - 200 ml / min i 0 - 100 ml / min regulowane na panelu sterowania z ekranem dotykowym
-
Zawór wlotu powietrza jest instalowany w celu zwolnienia próżni
|
|
stacja pomp próżniowych
|
-
dołączona jest mobilna stacja pomp. powlekarka rozpylająca może być umieszczona na szczycie stacji
-
szybkobieżna pompa turbo przy prędkości 80 l / s jest połączona z dwustopniową pompą mechaniczną (220 l / min) dla maksymalnego poziomu próżni i szybszej prędkości pompowania
-
standardowy poziom podciśnienia połączony z komorą: & lt; 4,0e-5 torr. . (1.0e-6 torr z pieczeniem w komorze)
-
opcjonalnie za dodatkową opłatą
-
jeśli wybierzesz pompę turbo o prędkości 150l / s, próżnia może osiągnąć 10-6 torr z komorą (6x10-7 torr z pieczeniem)
-
dla ultra wysokiej próżni do 10 ^ -7 torr, oprócz pompy turbo, potrzebna jest pompa getterowa (100 l / s h2 i o2). skonsultuj się z naszymi inżynierami w celu szczegółowego dostosowania.
-
Szybka pompa turbo o pojemności 150 l / s
-
pompka gettera
-
|
|
agregat wody
|
-
jedna cyfrowa kontrola temperatury agregat wody lodowej jest wliczony w cenę.
-
zakres chłodzenia: 5 ~ 35 ° C
-
natężenie przepływu: 16 l / min
-
ciśnienie pompy: 14 psi
|
|
opcjonalny
|
-
precyzyjny kwarc monitor grubości folii jest opcjonalny, który może być wprowadzany do komory w celu monitorowania grubości powłoki z dokładnością do 0,10 Å
-
precyzja cienka folia i systemy analizy powłok - eq-tfms-ld jest dostępny za dodatkową opłatą
-
różne 2 ”cele tlenkowe i metalowe są dostępne na żądanie za dodatkową opłatą. srebrne płytki epoksydowe i miedziane można zamówić w tmax
|
|
całkowite wymiary
|
|
|
masa netto powlekarki
|
|
|
waga przesyłki i amp; wymiary
|
-
łącznie 3 palety
-
365 funtów, 48 ”x 40” x 45 ”
-
390 lbs, 48 "x 40" x 49 "
-
210 funtów, 48 ”x 40” x 30 ”
|
|
spełnienie
|
-
zatwierdzenie ce
-
met certyfikacji (ul 1450) jest dostępny na żądanie za dodatkową opłatą, prosimy o kontakt z naszym przedstawicielem handlowym w celu uzyskania oferty.
|
|
Gwarancja
|
-
Roczna ograniczona gwarancja z dożywotnim wsparciem
|
|
noty aplikacyjne
|
-
dwustopniowy regulator ciśnienia (nie wchodzi w skład zestawu) powinien być zainstalowany na butli gazowej, aby ograniczyć ciśnienie wyjściowe gazu poniżej 0,02 MPa w celu bezpiecznego użytkowania
-
w celu usunięcia tlenu z komory, tmax sugeruje użycie 5% wodoru + 95% azotu do czyszczenia komory 2-3 razy, co może zmniejszyć poziom tlenu do & lt; 10 ppm
-
użyj & gt; Gaz argonowy o czystości 5n do rozpylania plazmowego. nawet jeśli czystość 5n ar zawiera zwykle 10-100 ppm tlenu i H2O, w zależności od dostawcy. tmax sugeruje użycie urządzenie do oczyszczania gazu oczyścić gaz przed napełnieniem.
-
aby uzyskać najlepszą wydajność, nieprzewodzące tarcze muszą być zainstalowane z miedzianą płytą oporową. proszę zapoznać się z poniższym filmem instruktażowym dotyczącym łączenia wiązań
-
lit dostarcza substrat pojedynczego kryształu od a do z
-
cząstka pomarańczy powlekarki rozpylające z powodzeniem pokryły zno na al 2 o 3 substrat w 500 ° C
-
przetestuj elastyczność cienkiej warstwy / elektrody powlekanej za pomocą eq-mbt-12-ld tester do gięcia trzpieni .
-
wysokie napięcie! głowice rozpylające łączą się z wysokim napięciem. ze względów bezpieczeństwa operator musi wyłączyć generator rf / DC przed załadowaniem próbki i operacjami zmiany celu
-
nie używaj wody z kranu w agregacie wody lodowej. muszą używać środków antykorozyjnych, aby zapobiec rdzewieniu i korozji.
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
