witamy w lith !
English français Deutsch русский italiano español português 日本語
Adres e-mail:Louis@lithmachine.com
Produkty
Strona główna Produkty piec piec pecvd

mini pojedyncza strefa przesuwna pieca rurowego pecvd

Skontaktuj się z nami

  • Contact Person : Louis Yang
  • Adres e-mail : Louis@lithmachine.com
  • Adres : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
mini pojedyncza strefa przesuwna pieca rurowego pecvd

mini pojedyncza strefa przesuwna pieca rurowego pecvd

  • :

    LITH-1200-SlidingPEC

  • MOQ :

    1

  • Compliance:

    CE

  • Warranty:

    2 years

  • Delivery Time:

    5 days

  • Adres e-mail :

    Louis@lithmachine.com

mini pojedyncza strefa przesuwna pieca rurowego pecvd


lith-1200-slidingpec System składa się z pieca próżniowego tl1200, kwarcowej komory próżniowej, zasilania rf, systemu zasilania gazem GX, systemu pompowania i systemu pomiaru próżni.

Główne cechy:

1. gaz w kwarcowej komorze próżniowej jest zamieniany na stan jonowy przez zasilanie rf.

2. pecvd jest niższy niż normalny cvd do chemicznego osadzania z fazy gazowej.

3. naprężenie osadzonych folii może być kontrolowane przez częstotliwość zasilania rf.

4. pecvd ma wysoką szybkość osadzania, dobrą jednorodność, spójność i stabilność niż normalne cvd.

5. szeroko stosowany do wzrostu różnych filmów, takich jak siox, sinx, sioxny i krzem amorficzny (a-si: h), itp.

The lith-1200-slidingpec technika systemowa do szwedzkiego elementu grzejnego z drutu oporowego kanthal, wykorzystująca konstrukcję podwójnej powłoki i 30-programowy stół do regulacji temperatury, spust przesunięcia fazowego, sterowanie tyrystorowe, piec z polikrystalicznego materiału z tlenku glinu, uszczelka kołnierzowa ze stali nierdzewnej na obu końcach rury pieca instalacja kołnierza ze stali nierdzewnej ma otwór wylotowy, zawór i manometr, próżnia, stopień podciśnienia może osiągnąć 10-3 Pa, równoważenie pola w niskiej temperaturze, temperatura powierzchni, szybkość podnoszenia temperatury, oszczędność energii, ustępstwa cenowe itp.

1. drut oporowy kanthal a1 szwecji

kanthal a1 oryginalny drut chiński drut oporowy piec vs importowany piec drut oporowy

(1), wysoka temperatura powierzchni może osiągnąć 1420 ℃

(2) powierzchnia jest ze stali nierdzewnej (bardzo jasna, klient powinien na nią zwrócić uwagę), nie rdzewieje, a czas użytkowania nie spadnie z żużla.

(3) pobrane są dane drutu oporowego kanthal

(4) strona internetowa drutu oporowego kanthal: www.kanthal.com

(5) opór jest zrównoważony, a pole temperatury jest równie dobre

większość producentów używa stopu fe-cr-al domieszkowanego drutem oporowym mo, który

czasami opór jest nierównomierny, a część ciepła jest mała kanthal a1 opór jest równomierny i zrównoważony termicznie, dobry efekt pola temperatury

2. instalacja wyłącznika powietrza i zabezpieczenia przed wyciekiem:

gdy prąd elektryczny lub wyciek, puste spotkanie automatycznie się rozłącza.

3. można połączyć z komputerem

ten piec jest wyposażony w interfejs komunikacyjny i oprogramowanie, może być bezpośrednio przez komputer sterujący każdym parametrem pieca i może być obserwowany z komputera pv na piecu i wartości temperatury sv i pracy urządzenia, rzeczywista temperatura komputera rysowania krzywej pieca w czasie rzeczywistym i może zachować dane temperatury za każdym razem, może zadzwonić w dowolnym momencie


4. izba

(1 ) wysokiej jakości piec utwardzany polikrystalicznym tlenkiem glinu o wysokiej czystości z zasysaniem próżniowym i formowaniem filtracyjnym.

(2). zaadaptować japońską technologię do formy.

(3). odstępy i nachylenie drutu oporowego w piecu są rozmieszczone zgodnie z najlepszą technologią termiczną Japonii, a pole temperatury jest symulowane przez oprogramowanie termiczne

(4). przy 4 tygodniowym ogrzewaniu temperatura jest bardziej zrównoważona

5. opcjonalna tablica elektryczna z certyfikatem ul (wszystkie w certyfikacji ul importowanych urządzeń elektrycznych)

6. spust

soft-start wyzwalający ograniczanie prądu większość producentów używa nie ograniczających wyzwalaczy kodowania światłowodowego

1 wyzwalacz zmiany fazy (z funkcją łagodnego rozruchu i ograniczenia prądu)

2. funkcja ograniczania prądu bez względu na to, jak dostosować czas nagrzewania pieca elektrycznego po tym, jak prąd wtórny transformatora jest ograniczony do 170a lub mniej ograniczona ochrona sprzętu. wyzwalacz nieograniczający, jeśli szybkość ogrzewania jest ustawiona nieprawidłowo lub zbyt szybko. Prąd niskiego prądu jest bardzo duży, urządzenie wyłączy się lub przepali.

3 funkcja łagodnego startu prąd będzie powoli zwiększać prąd wpływ elementu grzejnego jest niewielki sprzyja wydłużeniu żywotności elementu grzejnego

4 funkcja ochrony, jeśli prąd przekroczy prąd graniczny, wyzwalacz automatycznie odetnie funkcję wyzwalania, aby odciąć piec ochronny.

7. transformator certyfikowany ul

1 kabel transformatora to czysta miedź

2 transformator brzmi cicho

3 temperatura transformatora jest niska

8. różnorodność opcji do wyboru różnych kołnierzy (średnica od 25 do 250 mm)

Model

cząstka pomarańczy -1200-slidingpecvd1

cząstka pomarańczy -1200-slidingpecvd2

moc

1,5 kW

rozmiar rury

dia25 (od) x1250mm

dia50 (od) x1250mm

wymiary całkowite (lxdxh)

1800x410x610

1800x460x660

napięcie zasilania

220 v

materiał szyny ślizgowej

304 ze stali nierdzewnej

tryb przesuwny

łożysko toczne ze stali nierdzewnej

liczba faz

jednofazowy

Element grzewczy

importuj drut oporowy szwedzki canthal a1 kliknij w pobieranie danych

tryb sterowania

za pomocą termometru sterującego programem yu electric (standard)
1. 30 programowa temperatura regulacji inteligentnej regulacji pid.
2. Obwód grzewczy pieca elektrycznego może zostać automatycznie odcięty, jeśli został przypadkowo zabezpieczony ciepłem lub uszkodzony. (gdy temperatura pieca przekroczy 1200 stopni lub termopara zostanie przerwana, przekaźnik prądu przemiennego w obwodzie głównym zostanie automatycznie odłączony, obwód główny zostanie przerwany, światło na panelu wyłączy się, poza światłem, ograniczony elektryczny piec ochronny.
3. z interfejsem komunikacyjnym 485 (standard i standard przy wyborze oprogramowania)
4. ma funkcję zabezpieczenia przed awarią zasilania, to znaczy, gdy zasilanie jest wyłączone, program nie uruchomi się od temperatury początkowej, ale piec zacznie rosnąć, gdy zasilanie zostanie wyłączone.
instrument ma funkcję samoczynnego ustawiania temperatury


(aby zastąpić importowany instrument, musimy zapłacić kolejną opłatę.)

stół kontrolny temperatury fp93 instrumenty europejskie ekran dotykowy instrument

(shimaden)

tryb regulacji temperatury

pid

złamana równa ochrona i wyświetlacz

tak

ochrona przed nadmierną temperaturą

tak

ochrona nadprądowa

tak

precyzja sterowania

+ / - 1 ℃

spust

wyzwalacz zmiany fazy

urządzenia elektryczne

Zhejiang Chint

prostownik sterowany silikonem

106 / 16e zachodnia brama, Niemcy

najwyższa temperatura

strefa temperatury1: 1200 ℃ strefa temperatury 2: 1200 ℃

temperatura znamionowa

strefa temperatury1: 1100 ℃ strefa temperatury 2: 1100 ℃

szybkość ogrzewania

20 ℃ / min lub mniej (można modyfikować zgodnie z wymaganiami )

zalecana szybkość ogrzewania

10 ℃ / min lub les s

model termopary

strefy 1: zakres temperatury k typ 2: k typ

długość ogrzewania

strefy 1: zakres temperatur 200 mm. 2: 200 mm

certyfikacja elektryczna

ce

temperatura otaczającej powierzchni

45 ℃ lub les s

zasilanie rf

(generator plazmy)

zakres mocy wyjściowej

0-500 w

maksymalna moc odbita

200 w.

częstotliwość robocza

rf: 13,56 mhz plus lub minus 0,005%

stabilność zasilania

+ / - 0,1%

składowa harmoniczna

- 50 lub mniej dbc

szerokość rf

0-600 - mm jest regulowane

tryb dopasowania

automatyczny

tryb chłodzenia

zimne powietrze

hałas

& lt; 50 db

interfejs częstotliwości radiowej

50 Ω typu n

moc wejściowa

208-240 - v 50/60 hz

główne parametry systemu zasilania gazem gx

Miernik przepływu masy
standardowy zakres
przy użyciu kontrolera przepływu protonów 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm
(możesz wybrać zakres zasięgu i rodzaj gazu)
maksymalne ciśnienie robocze 3 mp
dokładność plus lub minus 1,5%
spadek ciśnienia & lt; 0,01 MPa & lt; p = "" & gt;
dokładność powtarzania plus lub minus 0,2% f.s

kanały:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcjonalnie)

rodzaj połączenia

złącze ze stali nierdzewnej z podwójną kasetą

zakres ciśnienia roboczego systemu

0,1 ~ 0,5 MPa

temperatura pracy

5-45 ℃

zegarek próżniowy ciśnieniowy

0,1 ~ 0,15 MPa do 0,01 MPa / obudowę

statyczna komora mieszania

średnica 50 x 400 mm

berło

dia6 1/4 "

Zasilanie

220 v

rozmiar

600 x 600 x 600

Rura falista

kf25x1000mm

Stopień podciśnienia można osiągnąć za pomocą tego systemu

10-1 pa

zawór próżniowy

kf25

vrd do 8 pomp próżniowych

Model

vrd do 8

ograniczenie ciśnienia cząstkowego

5 x10-2 pa

wlotowy interfejs wydechowy

kf25

prędkość silnika

1440 obr / min

wskaźnik ekstrakcji

2,2 l / s

moc silnika

0,4 kW

perfeer acp1 bezolejowa wielostopniowa pompa korzeniowa (plan 2)

Model

acp15

zasilacz

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

moc

450 w

interfejs wydechowy

kf25

waga

25 kg

maksymalny współczynnik wycieku helu wynosi

5 · 10-8 pa m3 / s

ekstremalny stopień próżni

0,02 torr

współczynnik ekstrakcji wynosi

14 m3 / h

Model

zdr - 1

moc

25 w.

zakres pomiaru stopnia próżni

0,1-10 5 pa

krzem oporowy

co zj miał do 52 t

szwedzki (inficon) pirani miernik próżni pojemnościowej (opcjonalnie)

Model

pcg554

Napięcie wejściowe

24 V 1a DC (wyposażony w transformator 220 V)

interfejs miernika próżni

kf16

wyświetlacz cyfrowy

wyświetlacz cyfrowy (rozmiar ekranu 20x14mm), którego jednostką wyświetlania danych jest torr

rozmiar produktu

46 mm x 28 mm x 126 mm (l x w x h)

waga

5 funtów

wykrywanie gazu

można wykryć różne gazy, w tym gazy mieszane, dokładne i powtarzalne.

czy antykorozyjne

ochrona przed korozją

czas odpowiedzi

30 ms lub mniej

skala

3,8 x 10-5-1125 torr.

jednostka pompy molekularnej (opcjonalnie)

napięcie wejściowe jednostki

380 v / 220 v

Rura falista

kf40x1000

zawór próżniowy

kf40

wymiar sprawy

600 x 600 x 600

pompa molekularna

model pompy molekularnej

fj620

Napięcie wejściowe

380 v

kołnierz wlotowy pompy molekularnej

dn160

szybkość pompowania pompy molekularnej l / s (dla powietrza)

600

ciśnienie graniczne pompy molekularnej (pa)

6 x 10-7

system chłodzenia

chłodzony wodą

ciśnienie wody chłodzącej (MPa)

0,1 do 0,2

temperatura wody chłodzącej

& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt;

temperatura otoczenia

0 ~ 40 ℃

sugerowane ciśnienie początkowe

& lt; 100 pa i lt; p = "" & gt;

pompa próżniowa silnika rvp - 6

moc

0,75 kw

Napięcie

380 v

prędkość

1450 obr / min

średnica wlotu

kf25 / kf40

szybkość pompowania pompy (l / s)

6

ostateczny nacisk

4 x10-2 pa

niemiecka pompa próżniowa pfeiffer

Napięcie

220 v

moc

110 w.

interfejs ekstrakcji

kf40

waga

150 kg

prędkość pompy przedniej

0,9 m3 / h

wskaźnik ekstrakcji (n2)

33 m / s

mieszany miernik próżni

mieszany model próżniomierza

zdf

Zasilanie

220 v 55 w

precyzja sterowania

plus lub minus 1%

zakres pomiaru próżniomierza

10-5-10 5 pa



PE/CVD Furnace










pakiet:

1 standardowy eksportowany pakiet: wewnętrzna ochrona antykolizyjna, zewnętrzne opakowanie drewniane opakowanie eksportowe.

2 wysyłka ekspresową drogą powietrzną drogą morską zgodnie z wymaganiami klientów, aby znaleźć najbardziej odpowiedni sposób.

3 odpowiedzialny za szkody podczas procesu wysyłki, zmieni uszkodzoną część za darmo.

czas dostawy : 15-20 dni po potwierdzeniu zamówienia należy określić datę dostawy zgodnie z

sezon produkcyjny i ilość zamówienia.





Gorące Tagi : piec pe / cvd piec mini pe / cvd przesuwne pecvd

piec pe / cvd

1200 ° c pieca / generator cvd z generatorem i mieszalnikiem gazu i systemem pompowania

piec pe / cvd

1200 ℃ podwójnych stref przesuwny piec cvd

pompa próżniowa

łopatkowa pompa próżniowa

system zasilania powietrzem

trójkanałowy system przepływu gazu zasilającego powietrze

system próżniowy

system próżniowy z pompą próżniową FX-16

piec pe / cvd

laboratorium 1200 ℃ dwustrefowy piec przesuwny z rurą cvd

piec pe / cvd

wysokotemperaturowy piec pe / cvd 1200 ° C z generatorem RF i układem mieszania i pompowania gazu

Lab 5Pa Vacuum High Temperature CVD Electric Furnace