Produkty
Strona główna Produkty piec piec pecvd

1200 ° c pieca / generator cvd z generatorem i mieszalnikiem gazu i systemem pompowania

Skontaktuj się z nami

  • Contact Person : Louis Yang
  • Adres e-mail : Louis@lithmachine.com
  • Adres : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
1200 ° c pieca / generator cvd z generatorem i mieszalnikiem gazu i systemem pompowania 1200 ° c pieca / generator cvd z generatorem i mieszalnikiem gazu i systemem pompowania

1200 ° c pieca / generator cvd z generatorem i mieszalnikiem gazu i systemem pompowania

  • :

    LITH-1200PECVD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    5 days
  • Adres e-mail :

    Louis@lithmachine.com

1200 ° c pieca / cvd generator z / rf i mieszanką gazu i amp; system pompowania



lith-1200pecvd chemiczne osadzanie z fazy gazowej (cvd) i wspomagane plazmą chemiczne osadzanie z fazy gazowej (pecvd) wielostrefowe piece z dzieloną rurą posiadają słynne kanthal & reg; (szwecja) elementy grzejne z drutu osadzone w wysokiej jakości mitsubishi & reg; (japonia) izolacja z tlenku glinu. Dwuskładnikowa obudowa ze stali zapewnia trwałość i minimalizuje straty ciepła na powierzchni zewnętrznej.

praca pieca jest kontrolowana przez shimaden & reg; (japonia) 40-segmentowy sterownik cyfrowy z wbudowanym portem komunikacji cyfrowej RS485 i adapterem USB, umożliwiający podłączenie komputera do zdalnego sterowania i monitorowania pieca. możesz także zapisać lub wyeksportować wyniki testu.

wszystkie nasze piece są zgodne.

funkcje

1 kompaktowa, przenośna i lekka konstrukcja.

2 niższe temperatury przetwarzania wymagane w porównaniu z konwencjonalnymi płytami CD.

3 naprężenia folii można kontrolować za pomocą technik mieszania wysokiej / niskiej częstotliwości.

4 dzielona komora pieca zapewnia szybki i łatwy dostęp do rury.

5 standardowy pakiet zawiera zestaw próżniowych kołnierzy uszczelniających ze stali nierdzewnej z zaworami i miernikiem ciśnienia.

6 Mikroprocesorowa samostrojeniowa regulacja PID zapewnia optymalny proces termiczny przy minimalnym przeregulowaniu.

7 możliwe są procesy wielokrotnej atmosfery w jednym cyklu (np .: wypalanie się spoiwa w powietrzu i spiekanie części w warunkach szorstkiej próżni lub środowiska gazu obojętnego)

8 wbudowany miernik amp i podwójny woltomierz do łatwego monitorowania i rozwiązywania problemów.

9 wbudowany interfejs komputera.

10 termopara typu K o długiej żywotności.

11 opcja przesuwnego pieca zapewnia bardzo szybkie tempo chłodzenia

bezpieczeństwo

1 ochrona przed przegrzaniem wyłącza piec, jeśli temperatura jest poza dopuszczalnym zakresem (patrz instrukcja sterownika) lub gdy termopara jest uszkodzona lub działa wadliwie.

2 ochrona przed awarią zasilania wznawia pracę pieca zaraz po awarii po przywróceniu zasilania.

ostrzeżenie! nigdy nie napełniaj pieca gazami wybuchowymi, w tym wodorem, tlenkiem węgla i metanem.


specyfikacja pieca, pompy próżniowej i systemu mieszania gazu

materiał rury

kwarc

Element grzewczy

kanthal & reg; (szwecja) drut cewki oporowej

max. vs stałe temperatury pracy

1200 ° C max. i stała 1100 ° C

typ pary termo

k

wyłożenie ogniotrwałe

mitsubishi & reg; (japonia) tlenek glinu o jakości 1500

kontroler temperatury

shimaden & reg; (Japonia) fp93 z 4 programami i 40 segmentami
(tj. 4 x 10 segmentów lub 2 x 20 segmentów)

maksymalne ogrzewanie i tempo schładzania

& lt; 30 ° C / min

precyzja regulatora temperatury

+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f)

zestaw kołnierzy próżniowych

próżniowe kołnierze uszczelniające ze stali nierdzewnej z jednym miernikiem próżni,
dwa zawory i cztery termiczne bloki ceramiczne.

Wymagania elektryczne

208-240vac, 50/60 hz, jednofazowy



specyfikacje generatora RF

Wymagania elektryczne

208-240 woltów 50/60 Hz

moc wyjściowa

5 do 500 watów, regulowane w krokach +/- 1%

częstotliwość rf

13 mhz ze stabilnością +/- 0,005%

siła odbicia

200 W max.

pasujący

automatyczny

port wyjściowy rf

50 Ω, typ n, żeński

chłodzenie

powietrze

standardowe opakowanie

opis części

Ilość

część obrazu

piec z dzieloną rurą

1 zestaw

wielokanałowy system zasilania gazem

1 zestaw

zasilacz plazmy RF (opcjonalnie)

1 zestaw

pompa próżniowa i obudowa (opcjonalnie)

1 zestaw

rura kwarcowa

1 szt

analogowy przepływomierz

1 szt

próżniowe kołnierze uszczelniające ze stali nierdzewnej z miernikiem ciśnienia

1 zestaw



hak ze stali nierdzewnej

1 szt



ceramiczny blok termiczny z tlenku glinu

2 pary



rękawice termiczne

1 para

zapasowy bezpiecznik

2 szt

zestaw interfejsów komputerowych usb / rs485

1 zestaw





PE/CVD Furnace

PE/CVD Furnace










pakiet:

1 standardowy eksportowany pakiet: wewnętrzna ochrona antykolizyjna, zewnętrzne opakowanie drewniane opakowanie eksportowe.

2 wysyłka ekspresową drogą powietrzną drogą morską zgodnie z wymaganiami klientów, aby znaleźć najbardziej odpowiedni sposób.

3 odpowiedzialny za szkody podczas procesu wysyłki, zmieni uszkodzoną część za darmo.

czas dostawy : 15-20 dni po potwierdzeniu zamówienia należy określić datę dostawy zgodnie z

sezon produkcyjny i ilość zamówienia.