:
LITH-1200PECVDMOQ :
1Compliance:
CEWarranty:
2 yearsDelivery Time:
5 daysAdres e-mail :
Louis@lithmachine.com1200 ° c pieca / cvd generator z / rf i mieszanką gazu i amp; system pompowania
lith-1200pecvd chemiczne osadzanie z fazy gazowej (cvd) i wspomagane plazmą chemiczne osadzanie z fazy gazowej (pecvd) wielostrefowe piece z dzieloną rurą posiadają słynne kanthal & reg; (szwecja) elementy grzejne z drutu osadzone w wysokiej jakości mitsubishi & reg; (japonia) izolacja z tlenku glinu. Dwuskładnikowa obudowa ze stali zapewnia trwałość i minimalizuje straty ciepła na powierzchni zewnętrznej.
praca pieca jest kontrolowana przez shimaden & reg; (japonia) 40-segmentowy sterownik cyfrowy z wbudowanym portem komunikacji cyfrowej RS485 i adapterem USB, umożliwiający podłączenie komputera do zdalnego sterowania i monitorowania pieca. możesz także zapisać lub wyeksportować wyniki testu.
wszystkie nasze piece są zgodne.
funkcje
1 kompaktowa, przenośna i lekka konstrukcja.
2 niższe temperatury przetwarzania wymagane w porównaniu z konwencjonalnymi płytami CD.
3 naprężenia folii można kontrolować za pomocą technik mieszania wysokiej / niskiej częstotliwości.
4 dzielona komora pieca zapewnia szybki i łatwy dostęp do rury.
5 standardowy pakiet zawiera zestaw próżniowych kołnierzy uszczelniających ze stali nierdzewnej z zaworami i miernikiem ciśnienia.
6 Mikroprocesorowa samostrojeniowa regulacja PID zapewnia optymalny proces termiczny przy minimalnym przeregulowaniu.
7 możliwe są procesy wielokrotnej atmosfery w jednym cyklu (np .: wypalanie się spoiwa w powietrzu i spiekanie części w warunkach szorstkiej próżni lub środowiska gazu obojętnego)
8 wbudowany miernik amp i podwójny woltomierz do łatwego monitorowania i rozwiązywania problemów.
9 wbudowany interfejs komputera.
10 termopara typu K o długiej żywotności.
11 opcja przesuwnego pieca zapewnia bardzo szybkie tempo chłodzenia
bezpieczeństwo
1 ochrona przed przegrzaniem wyłącza piec, jeśli temperatura jest poza dopuszczalnym zakresem (patrz instrukcja sterownika) lub gdy termopara jest uszkodzona lub działa wadliwie.
2 ochrona przed awarią zasilania wznawia pracę pieca zaraz po awarii po przywróceniu zasilania.
ostrzeżenie! nigdy nie napełniaj pieca gazami wybuchowymi, w tym wodorem, tlenkiem węgla i metanem.
specyfikacja pieca, pompy próżniowej i systemu mieszania gazu
materiał rury |
kwarc |
Element grzewczy |
kanthal & reg; (szwecja) drut cewki oporowej |
max. vs stałe temperatury pracy |
1200 ° C max. i stała 1100 ° C |
typ pary termo |
k |
wyłożenie ogniotrwałe |
mitsubishi & reg; (japonia) tlenek glinu o jakości 1500 |
kontroler temperatury |
shimaden & reg; (Japonia) fp93 z 4 programami i 40 segmentami |
maksymalne ogrzewanie i tempo schładzania |
& lt; 30 ° C / min |
precyzja regulatora temperatury |
+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f) |
zestaw kołnierzy próżniowych |
próżniowe kołnierze uszczelniające ze stali nierdzewnej z jednym miernikiem próżni, |
Wymagania elektryczne |
208-240vac, 50/60 hz, jednofazowy |
specyfikacje generatora RF
Wymagania elektryczne |
208-240 woltów 50/60 Hz |
moc wyjściowa |
5 do 500 watów, regulowane w krokach +/- 1% |
częstotliwość rf |
13 mhz ze stabilnością +/- 0,005% |
siła odbicia |
200 W max. |
pasujący |
automatyczny |
port wyjściowy rf |
50 Ω, typ n, żeński |
chłodzenie |
powietrze |
standardowe opakowanie
opis części
|
Ilość
|
część obrazu
|
piec z dzieloną rurą |
1 zestaw |
|
wielokanałowy system zasilania gazem |
1 zestaw |
|
zasilacz plazmy RF (opcjonalnie) |
1 zestaw |
|
pompa próżniowa i obudowa (opcjonalnie) |
1 zestaw |
|
rura kwarcowa |
1 szt |
|
analogowy przepływomierz |
1 szt |
|
próżniowe kołnierze uszczelniające ze stali nierdzewnej z miernikiem ciśnienia |
1 zestaw |
|
hak ze stali nierdzewnej |
1 szt |
|
ceramiczny blok termiczny z tlenku glinu |
2 pary |
|
rękawice termiczne |
1 para |
|
zapasowy bezpiecznik |
2 szt |
|
zestaw interfejsów komputerowych usb / rs485 |
1 zestaw |
|
1 standardowy eksportowany pakiet: wewnętrzna ochrona antykolizyjna, zewnętrzne opakowanie drewniane opakowanie eksportowe.
2 wysyłka ekspresową drogą powietrzną drogą morską zgodnie z wymaganiami klientów, aby znaleźć najbardziej odpowiedni sposób.
3 odpowiedzialny za szkody podczas procesu wysyłki, zmieni uszkodzoną część za darmo.
czas dostawy : 15-20 dni po potwierdzeniu zamówienia należy określić datę dostawy zgodnie z
sezon produkcyjny i ilość zamówienia.