|
funkcje
|
-
5 pistoletów do rozpylania magnetronowego dla 5 różnych materiałów docelowych
-
w zależności od zastosowanych zasilaczy (rf lub dc) można składować zarówno metaliczne, jak i niemetalowe materiały.
-
zdolny do rozpylania 5 materiałów docelowych w celu wytworzenia różnych kompozycji za pomocą różnych czasów / szybkości rozpylania
-
z opcjonalnymi 5 zasilaczami, 5 materiałów docelowych może być rozpylanych w tym samym czasie do rozpylania kombinatorycznego
-
16 próbek można umieścić w jednej partii z maską i obrotowym uchwytem na próbki
|
|
moc wejściowa
|
-
jednofazowy 220 vac, 50/60 Hz
-
1000 w (w tym pompa próżniowa i agregat wody lodowej)
|
|
źródło prądu
|
-
W zestawie znajduje się jeden generator RF o częstotliwości 13,5 MHz i mocy 300 w połączony z głowicami rozpylającymi
-
obrotowy przełącznik może aktywować jedną głowicę rozpylającą na raz. głowice rozpylające można przełączać „w plazmie” bez przerywania próżni podczas procesu wielowarstwowego.
-
wiele zasilaczy rf jest opcjonalnych, co umożliwia użytkownikowi rozpylanie wielu celów w tym samym czasie w przypadku rozpylania kombinatorycznego
-
laptop z oprogramowaniem sterującym jest dostępny za dodatkową opłatą, aby kontrolować czas i siłę rozpylania każdego pistoletu
|
|
opcjonalny
|
-
możesz wybrać zasilacz prądu stałego do rozpylania metalowego celu
-
z pięcioma zasilaczami prądu stałego lub RF, 5 materiałów docelowych może być rozpylanych w tym samym czasie dla rozpylania kombinatorycznego
|
|
głowica rozpylająca magnetronu
|
-
pięć 1-calowych głowic rozpylających magnetronów z płaszczami chłodzącymi wodę jest dołączonych i umieszczonych w komorze kwarcowej za pomocą szybkich zacisków
-
Wymiana kabla rf można kupić w tmax
-
jedna ręcznie sterowana migawka jest zbudowana na kołnierzu (patrz rys. 3)
-
jeden sterowany cyfrowo agregat wody lodowej o wydajności 10 l / min jest przeznaczony do chłodzenia głowic rozpylających
-
|
|
cel rozpylania
|
-
wymóg rozmiaru docelowego: 1 "średnica x 1/8" grubość max
-
zasięg rozpylania: 50 - 80 mm regulowany
-
zakres kąta rozpylania: 0 - 25 ° regulowany
-
Średnica celownika 1 ”i al 2 o 3 cel jest dołączony do testów demo
-
różne cele rozpylania tlenku 1 ”są dostępne na żądanie za dodatkową opłatą
-
do klejenia docelowego dołączone są miedziane płyty podkładowe 1 mm i 2 mm. srebrny epoksyd (fot. 1) i dodatkowe miedziane płyty oporowe (rys. 2) można zamówić w tmax
|
|
komora próżniowa
|
-
komora próżniowa wykonana ze stali nierdzewnej 304 z żebrem wzmacniającym
-
wewnętrzny rozmiar komory próżniowej: 470 mm l × 445 mm × 522 mm h (~ 105 litrów, 18,5 × 17,5 „x 20,5”)
-
okrągła średnica 380 mm. drzwi na zawiasach z szybą o średnicy 150 mm
-
zakres temperatur: -15 do 150 ° C
-
poziom próżni: 4.0e-5 torr z pompą turbo
|
|
uchwyt próbki
|
-
Obrotowy uchwyt próbki o średnicy 150 mm do powlekania 16 pobiera próbkę jednej partii o różnych składach
-
uchwyt próbki i obrót maski mogą być sterowane ręcznie za pomocą przycisku lub automatycznie przez oprogramowanie sterujące (opcjonalnie)
-
temperatura uchwytu próbki jest regulowana od rt do 600 ° c max
|
|
pompa próżniowa
|
-
Port próżniowy kf40 jest wbudowany w celu podłączenia do pompy próżniowej.
-
w komplecie kompaktowa pompa turbo
-
4.0e-5 torr z opcjonalną pompą turbo
|
|
opcjonalny
|
-
precyzyjny kwarcowy czujnik grubości jest opcjonalny. może być wbudowany w komorę, aby monitorować grubość powłoki z dokładnością 0,1 Å (wymagane chłodzenie wodą)
-
łatwe połączenie USB z komputerem w celu zdalnego monitorowania grubości i prędkości powlekania
-
W komplecie 5 szt. Czujników kwarcowych (materiałów eksploatacyjnych)
|
|
waga netto
|
|
|
spełnienie
|
-
zatwierdzenie ce
-
met certyfikacji (ul 1450) jest dostępny na żądanie za dodatkową opłatą, prosimy o kontakt z naszym przedstawicielem handlowym w celu wyceny.
|
|
Gwarancja
|
-
Roczna ograniczona gwarancja z dożywotnim wsparciem
|
|
noty aplikacyjne
|
-
ta kompaktowa magnetronowa powlekarka 1 "rf do napylania została zaprojektowana do powlekania cienkich warstw tlenków na tlenkowych podłożach jednokrystalicznych, które zwykle nie wymagają wysokiego ustawienia próżni
-
dwustopniowy regulator ciśnienia (nie wchodzi w skład zestawu) powinien być zainstalowany na butli z gazem, aby ograniczyć ciśnienie wyjściowe gazu poniżej 0,02 MPa w celu bezpiecznego użytkowania. użyj & gt; 5n czystości gazu ar do rozpylania plazmowego
-
aby uzyskać najlepszą siłę przyczepności folii do podłoża, należy oczyścić powierzchnię podłoża przed powlekaniem:
-
czyszczenie ultradźwiękowe za pomocą następujących kąpieli sekwencyjnych - (1) aceton, (2) alkohol izopropylowy - w celu usunięcia oleju i smaru. wysuszyć podłoże za pomocą n2, a następnie piec na gorąco w próżni, aby usunąć wchłoniętą wilgoć
-
czyszczenie powierzchni plazmą może być konieczne do szorstkowania powierzchni, aktywacji chemicznych wiązań powierzchniowych lub dodatkowego usuwania zanieczyszczeń
-
cienką warstwę buforową (~ 5 nm), taką jak cr, ti, mo, ta, można zastosować w celu poprawy przyczepności metali i stopów
-
aby uzyskać najlepszą wydajność, nieprzewodzące tarcze muszą być zainstalowane z miedzianą płytą oporową. proszę zapoznać się z filmem instruktażowym poniżej (# 3), aby uzyskać wiązanie docelowe
-
lit dostarcza substrat pojedynczego kryształu od a do z
-
Urządzenia do napylania plazmowego lit rf z powodzeniem pokryły zno na al 2 o 3 substrat w 500 ° C
-
przetestuj elastyczność cienkiej warstwy / elektrody powlekanej za pomocą eq-mbt-12-ld tester do gięcia trzpieni .
-
wysokie napięcie! głowice rozpylające łączą się z wysokim napięciem. ze względów bezpieczeństwa operator musi wyłączyć generator RF przed załadowaniem próbki i operacjami zmiany celu
-
nie używaj wody z kranu w agregacie wody lodowej. używać wody chłodzącej, di wody, wody destylowanej lub dodatków antykorozyjnych z wodą
-
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
