|
moc wejściowa
|
-
220 vac, 50 / 60hz, jednofazowy
-
800 w (łącznie z pompą)
-
jeśli napięcie wynosi 110 V, wymagany jest transformator 1000 W, proszę kliknąć lewy obrazek, aby zamówić
|
|
moc źródłowa
|
-
jeden Generator 13,5 mhz, 300 w rf z automatycznym dopasowaniem funkcja jest wbudowana w szafkę i podłączona do głowicy rozpylającej 2 ”.
-
opcjonalnie: źródło prądu rozpylania prądu stałego jest dostępne do powlekania materiałów metalowych
|
|
głowica rozpylająca magnetronu
|
-
jedna 2-calowa głowica rozpylająca magnetron z płaszczami chłodzącymi wodę jest dołączona i umieszczona w komorze kwarcowej za pomocą szybkiego zacisku
-
jedna żaluzja jest zbudowana na kołnierzu (obsługiwana ręcznie)
-
do chłodzenia głowic rozpylających magnetron wymagany jest jeden sterowany cyfrowo agregat wody lodowej o wydajności 16 l / min
-
Głowica rozpylająca 1 ”jest wymienna i opcjonalna za dodatkową opłatą
-
Kabel rf o długości 148 cm można wymienić za dodatkową opłatą
-
|
|
cel rozpylania
|
-
wymóg rozmiaru docelowego: średnica 2 "x 1/4" grubość max
-
jeden cel sio2 jest dołączony do testu demo.
-
cel ceramiczny al2o3 zalecana metoda powlekania
-
opcjonalne tarcze rozpylające 2 ”(z płytą oporową) są dostępne na żądanie za dodatkową opłatą.
|
|
komora próżniowa
|
-
komora próżniowa: 160 mm x 150 mm id x 250 mm wysokości. wykonane z kwarcu o wysokiej czystości
-
kołnierz uszczelniający: średnica 165 mm wykonany z aluminium z wysokotemperaturowym silikonowym o-ringiem
-
w komplecie siatkowa osłona ze stali nierdzewnej zapewnia 100% promieniowania rf z komory
-
poziom próżni: 1.0e-2 torr z dołączoną dwustopniową pompą mechaniczną i 1.0e-5 torr z opcjonalną pompą turbinową
|
|
uchwyt próbki
|
-
uchwyt na próbki jest obrotowy i ogrzewany z ceramicznego grzejnika z pokrywą ze stali nierdzewnej
-
rozmiar uchwytu próbki: średnica 50 mm. na 2 "opłatek max
-
prędkość obrotowa jest regulowana: 1 - 10 obr / min dla jednolitej powłoki
-
temperatura uchwytu jest regulowana od rt do 500 ° c max z dokładnością +/- 1,0 ° c za pomocą cyfrowego regulatora temperatury.
-
Uchwyt do podgrzewania próbek o pojemności 800-1000 ° C jest dostępny na życzenie na żądanie.
-
opcjonalny uchwyt na próbkę wibracyjną jest dostępny do powlekania pvd. (zdjęcie 3 poniżej)
-
|
|
stacja pomp próżniowych
|
-
Port próżniowy kf25 jest wbudowany w celu podłączenia do pompy próżniowej.
-
wymagana jest pompa próżniowa z adapterem kf25, ale nie dołączona. proszę kliknąć zdjęcie, aby zamówić osobno.
-
poziom próżni: 1.0e-2 torr z dwustopniową pompą mechaniczną i 1.0e-5 torr z turbopompą
|
|
opcjonalny
|
-
precyzyjny kwarcowy czujnik grubości jest opcjonalny, który można wbudować w komorę, aby monitorować grubość powłoki z dokładnością do 0,10 Å. laptop jest wymagany do corve grubości wyświetlacza
-
|
|
całkowite wymiary
|
|
|
waga netto
|
|
|
gwarancja i amp; spełnienie
|
-
Roczna ograniczona gwarancja z dożywotnim wsparciem
-
ce certyfikowany
-
Certyfikat nrtl lub csa jest dostępny na żądanie za dodatkową opłatą
|
|
noty aplikacyjne
|
-
ta kompaktowa powlekarka magnetronowa do rozpylania 2 "rf jest przeznaczona do powlekania cienkich warstw tlenków na tlenkowych podłożach jednokrystalicznych, które zwykle nie wymagają wysokiego ustawienia próżni
-
użyj & gt; 5n czystości gazu ar do rozpylania plazmowego
-
aby uzyskać najlepszą siłę przyczepności folii do podłoża, należy oczyścić powierzchnię podłoża przed powlekaniem:
-
czyszczenie ultradźwiękowe za pomocą następujących kąpieli sekwencyjnych - (1) aceton, (2) alkohol izopropylowy - w celu usunięcia oleju i smaru. wysuszyć podłoże za pomocą n2, a następnie piec na gorąco w próżni, aby usunąć wchłoniętą wilgoć
-
czyszczenie powierzchni plazmą może być konieczne do szorstkowania powierzchni, aktywacji chemicznych wiązań powierzchniowych lub dodatkowego usuwania zanieczyszczeń
-
cienką warstwę buforową (~ 5 nm), taką jak cr, ti, mo, ta, można zastosować w celu poprawy przyczepności metali i stopów
-
aby uzyskać najlepszą wydajność, nieprzewodzące tarcze muszą być zainstalowane z miedzianą płytą oporową. proszę zapoznać się z filmem instruktażowym poniżej (# 3), aby uzyskać wiązanie docelowe
-
tmax używa lakierników z powodzeniem powlekających zno na al 2 o 3 substrat przy 500 ° c (profil xrd na rys. 5)
-
nie używaj wody z kranu w agregacie wody lodowej. używać wody dejonizowanej, wody destylowanej lub dodatków antykorozyjnych jako środka barwiącego.
-
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
